百级半导体净化车间安装与调试方法 -凯发k8国际首页登录

　　墙面与吊顶：进行墙面和吊顶的施工，确保密封性和平整度，使用符合无尘车间要求的材料。

　　门窗安装：安装洁净门和传递窗，确保门框和门扇的密封性，符合防静电要求。

　　3、系统安装

　　ffu及高效过滤器安装：

　　小心取出高效过滤器，检查是否有损坏。

　　将ffu及高效过滤器安装在吊顶龙骨上，注意轻拿轻放，避免触碰过滤器表面。

　　对齐龙骨四边平行放下过滤器，注意风向，出风面应朝下。

　　将ffu箱体对齐过滤器四周放下，根据厂家提供的电路图和电气规章连接电源。

　　风管系统安装：进行风管保温和安装，确保密封性和风量分配。

　　其他系统安装：包括高纯水系统、高纯气体系统、真空系统、化学品供应系统、排风和排气系统、消防系统、电气系统等。

　　4、地面处理

　　选择合适的地坪漆进行地面涂装，确保防尘、耐磨、易清洁。

　　调试方法

　　1、空气净化系统调试

　　检查空气净化设备的运行状态，确保无异常噪音和振动。

　　使用尘埃粒子计数器检测车间内不同区域的尘埃粒子浓度，确保达到预定的洁净度标准(百级)。

　　调节风量、风速和风向，确保空气流通均匀，无死角。

　　2、温湿度控制调试

　　确保温湿度控制设备正常运行，根据生产需求设定合适的温湿度范围。

　　对温湿度传感器进行校准，确保检测数据的准确性。

　　测试车间内的温湿度分布，确保分布均匀。

　　3、静电防护系统调试

　　检查静电防护设备的运行状态，确保其正常工作。

　　测试车间内的静电场强度，确保控制在安全范围内。

　　测试静电防护设备的接地电阻，确保符合标准要求。

　　4、照明系统调试

　　检查照明设备的运行状态，确保各灯具正常工作，无损坏或故障。

　　测试车间内的光照度，确保满足生产需求，避免过强或过弱的光照对工作人员造成不适。

　　5、辅助系统调试

　　对给排水系统、消防系统、通风系统等辅助系统进行逐一检查和测试，确保其正常运行并满足生产需求。

　　6、整体运行测试

　　模拟实际生产环境，检查无尘车间内的各项指标是否满足生产需求。

　　对环境参数进行连续监测和记录，以便及时发现和解决问题。

　　7、人员培训

　　对工作人员进行培训和指导，确保他们能够熟练掌握无尘车间的使用和维护方法。

　　通过以上安装与调试方法，可以确保达到预定的洁净度和生产要求，为半导体产品的生产提供有力保障。