4、防火防爆措施
防爆设计:对于易燃易爆物品存放和使用区域,如溶剂回收间、溶剂分配间等,应进行防爆设计。外墙应考虑足够的泄压面积,内隔墙应为防爆墙。
安全存储:确保易燃物品的安全存放和使用,避免火灾和爆炸事故的发生。
5、监测与报警
火灾自动报警系统:设置火灾自动报警系统,并与消防排烟系统、灭火系统等实现联动。一旦发生火灾,系统能够迅速启动并发出警报,为灭火和疏散提供有利条件。
6、维护与保养
定期检查与维护:定期对消防设施和设备进行检查和维护保养,确保其始终处于良好状态。同时,对洁净室内的环境参数进行监测,确保符合生产要求。
综上所述,防火安全设计要点涵盖了防火分区与疏散设计、建筑材料与构造、消防设施与设备、防火防爆措施、监测与报警以及维护与保养等多个方面。通过科学合理的设计和严格的施工管理,可以确保半导体净化工程在高度洁净且安全的环境中运行。