半导体无尘车间净化工程验收流程 -凯发k8国际首页登录

　　(3)检查送回风系统、排风系统、空调系统等是否按设计图纸安装，是否存在漏风、漏尘等问题。

　　2、设备运行测试：

　　(1)对空调系统进行运行测试，检查温度、湿度、洁净度等参数是否达到设计要求。

　　(2)对过滤器、空气净化器、风机等设备进行性能测试，确保其正常运行并满足洁净度要求。

　　(3)对门禁系统、消防系统等进行功能测试，确保其安全可靠。

　　3、清洁度检查：

　　(1)对车间内部进行彻底清洁，确保无灰尘、无杂物。

　　(2)使用粒子计数器对车间内部进行粒子计数检测，确保洁净度符合设计要求。

　　(3)进行微生物检测，确保车间内部无微生物污染。

　　4、环境监测：

　　(1)使用专业的环境监测设备对车间内部的环境参数进行实时监测，包括温度、湿度、气压等。

　　(2)检查环境参数是否稳定，是否符合生产工艺要求。

　　5、文件记录：

　　(1)对验收过程中的各项检测数据进行记录，并编制验收报告。

　　(2)将验收报告与文件一起归档保存，以备后续参考。

　　6、问题整改：

　　(1)若在验收过程中发现问题，应及时通知施工单位进行整改。

　　(2)整改完成后重新进行验收，直至达到设计要求为止。

　　7、验收合格确认：

　　(1)当所有验收项目均符合设计要求时，可确认验收合格。

　　(2)签发验收合格证书，并通知相关方进行后续工作。

　　通过以上流程的介绍，可以看出净化工程验收是一项复杂且严谨的工作。只有严格按照验收标准和流程进行验收，才能确保无尘车间的性能和质量符合设计要求，为后续的生产过程提供可靠的保障。