半导体洁净车间噪音标准规范和注意事项 -凯发k8国际首页登录

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  a、半导体洁净车间噪声频谱限值宜采用倍频带声级,各频带声压级不应超过1级。

  b、和断面布置应考虑噪声控制要求,围护结构应具有良好的隔声性能,各断面隔声效果应不相近。

  c、半导体洁净车间中的各类设备应采用低噪音产品。对于辐射噪声超过洁净室允许值的设备,必须配备专用隔声设备(隔声室、隔声罩等)。

  d、半导体洁净车间净化空调系统噪声超过允许值时,应采取隔声、消声、隔音等控制措施。除了意外排气外,洁净室的排气系统也需要进行降噪设计。

  综合考虑以上因素,半导体洁净车间应该遵循相关的噪音标准和规范,通过设备选择、工艺控制、隔音设计等措施,有效控制噪音水平,保障生产环境的安静和员工的健康。

标签: 半导体洁净车间 , 洁净车间规划
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