芯片洁净车间压差是如何控制的? -凯发k8国际首页登录

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芯片洁净车间


  那么,如何控制内的正压压差呢?主要可以通过回风口控制、余压阀控制、调节回风阀或排风阀、差压变送器控制以及调节新风阀等方式来控制和调整洁净室内的正压差。其原理是通过控制送风量、回风量和排风量来控制压差。

  回风口控制。通过回风口上的百叶可调格栅或阻尼层改变其阻力来调整回风量,达到控制室内压力的目的。特点是结构比较简单、经济,格栅控制调节量方便。但格栅不易关死,且调节幅度不大,会对气流方向产生影响。

  余压阀控制。通过手动或自动调整余压阀上的平衡压块,改变压阀的阀门开度,实现室内的压力控制。余压阀一般设在洁净室下风侧墙上。余压阀安装简单。

  压差控制是防止将污染带进或带出洁净室的重要措施。当需要的压差值太大,不容易办到时,就要加设辅助设施。常见的缓冲设施气闸室、缓冲室、空气吹淋室、传递窗等。

  在设计和运行芯片洁净车间时,需要严格遵守相关的洁净度等级要求和标准,如iso 14644洁净室标准。此外,需要找专业的净化工程公司进行综合规划和设计,并确保定期进行维护和校准,以保持洁净车间的良好运行状态和压差控制。合洁科技电子洁净工程公司就是一家不错的电子净化工程建设公司,专注电子净化工程22年,拥有一级建筑资质和专业设计施工团队,上千案例,值得信赖!

标签: 芯片洁净车间 , 洁净车间建设
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